石川 寧 | 東北大学流体科学研究所
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概要
関連著者
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寒川 誠二
東北大学流体科学研究所
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石川 寧
東北大学流体科学研究所
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加藤 裕司
東北大学流体科学研究所
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沖川 満
東北大学流体科学研究所
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福田 誠一
ソニー株式会社セミコンダクタソリューションズネットワークカンパニー
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田口 智啓
東北大学流体科学研究所
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野田 周一
東北大学流体科学研究所
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市橋 由成
三洋電機株式会社 技術開発本部 マテリアルデバイス技術開発 センタビジネスユニットアドバンストデバイス部 プロセス技術グループ
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福田 誠一
ソニー株式会社 セミコンダクタソリューションズネットワークカンパニー
著作論文
- パルス時間変調窒素プラズマによるゲート絶縁膜の形成と紫外光照射損傷の抑制(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)
- 固体撮像素子のための低損傷プラズマプロセス : パルス時間変調プラズマとガス種選択による紫外線誘起損傷の低減