寒川 誠二 | 東北大学流体科学研究所
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概要
関連著者
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寒川 誠二
東北大学流体科学研究所
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寒川 誠二
東北大学
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寒川 誠二
東北大学・流体科学研究所・流体融合研究センター
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寒川 誠二
東北大流体研
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沖川 満
東北大学流体科学研究所
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中野 俊樹
防衛大学校
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石川 寧
東北大学流体科学研究所
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杉山 正和
東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
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杉山 正和
東京大学
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森江 隆
九州工業大学・生命体工学研究科
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吉川 英樹
物材機構
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小林 啓介
物材機構
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山下 一郎
松下電器産業(株)先端技術研究所
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
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吉川 英樹
物質・材料研究機構 SPring-8
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小林 啓介
物質・材料研究機構 SPring-8
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森江 隆
Nttネットワークサービスシステム研究所
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寒川 誠二
東北大学 流体科学研究所 知的ナノプロセス研究分野
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吉川 英樹
科学技術庁無機材質研究所
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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額賀 理
BEANSプロジェクト
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山本 敏
株式会社フジクラ
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久保田 智広
東京大学
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加藤 裕司
東北大学流体科学研究所
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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三浦 英生
東北大学大学院工学研究科
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三浦 英生
東北大
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井上 達也
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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森江 隆
九州工業大学
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伊藤 雄太
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
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山下 一郎
松下電器先端研
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梁 海超
九州工業大学大学院生命体工学研究科
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山下 一郎
Crest Japan Science And Technology Agency
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津田 健一郎
日本電気
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高井良 誠一
防衛大学校
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福田 誠一
ソニー株式会社セミコンダクタソリューションズネットワークカンパニー
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田口 智啓
東北大学流体科学研究所
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野田 周一
東北大学流体科学研究所
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市橋 由成
三洋電機株式会社 技術開発本部 マテリアルデバイス技術開発 センタビジネスユニットアドバンストデバイス部 プロセス技術グループ
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山下 一郎
松下電器先端技術研究所
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関根 誠
名大エコトピア
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関根 誠
東芝セミコン社
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鈴木 研
東北大学大学院工学研究科
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数見 秀之
日立製作所
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三浦 英生
東北大学
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孫 意来
九州工業大学大学院生命体工学研究科
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五十嵐 誠
東北大学流体科学研究所
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福田 誠一
ソニー株式会社 セミコンダクタソリューションズネットワークカンパニー
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吉川 英樹
物質・材料研究機構
著作論文
- 環境共生型・新ガスケミストリーによる高精度シリコン酸化膜エッチング
- 合成石英のフェムト秒レーザーアシスト・ドライエッチング : ナノ周期構造の選択的エッチング
- High-k/Metal-gate界面健全性に及ぼす点欠陥と格子ひずみの相互作用の原子レベルシミュレーション(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- パルス時間変調窒素プラズマによるゲート絶縁膜の形成と紫外光照射損傷の抑制(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)
- 固体撮像素子のための低損傷プラズマプロセス : パルス時間変調プラズマとガス種選択による紫外線誘起損傷の低減
- 固体撮像素子のための低損傷プラズマプロセス (特集2 CCDとCMOSセンサ)
- プラズマプロセス・装置はどこまで制御できるか?
- プラズマエッチングプロセスの進展と今後の展開 : 究極の微細加工
- 半導体プロセスとプラズマ表面反応
- レーザ誘起蛍光法による窒素誘導結合パルスプラズマの診断
- ダメージフリープロセスを目指すICP-マルチビーム加工技術
- 中性粒子ビームによる究極の微細加工
- F2-2 プラズマエッチング、高精度化へのチャレンジ(F.2 半導体製造工程は,今何が問題なのか)
- 電子デバイスを目指したバイオテクノロジーとナノテクノロジーの融合 : 融合手法と今後の展開
- 6.中性粒子ビームによる究極のトップダウン加工(ドライエッチングの科学と技術の新局面)
- パルス時間変調プラズマによる損傷フリー微細・磁性膜エッチング技術
- 超高精度プラズマ加工が拓く先端ナノデバイス(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- パルス時間変調プラズマによる損傷フリー微細・磁性膜エッチング技術
- サイドエッチング
- 5. プラズマエッチングと電子エネルギー分布関数 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
- プラズマエッチング高精度化へのチャレンジ (特集 学際融合工学への挑戦)
- プラズマエッチングプロセスの課題と今後の展開 : プラズマエッチング高精度化へのチャレンジ
- ナノディスクアレイ構造とCMOS回路を結合したスパイキングニューロンデバイス(ニューロコンピューティングの実装及び人間科学のための解析・モデル化,一般)