プラズマエッチングプロセスの課題と今後の展開 : プラズマエッチング高精度化へのチャレンジ
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概要
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プラズマエッチング技術におけるブレークスルーとして提案された、(1)タイムモジュレーションプラズマ、(2)UHFプラズマ、(3)選択ラジカル生成法に関して紹介した。電子エネルギー分布とガス分子構造の最適化によりプラズマ中の活性種の制御が実現できるようになってきた。今後は、その活性種を選択してどのように基盤に輸送するかという課題が残っており、ビーム技術などもとも組み合わせて、更なる高精度化へのチャレンジが必要である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-10-12
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