寒川 誠二 | 東北大学・流体科学研究所・流体融合研究センター

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概要

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関連著者

• 寒川 誠二

  東北大学・流体科学研究所・流体融合研究センター

• 寒川 誠二

  東北大学流体科学研究所

• 寒川 誠二

  東北大学 流体科学研究所 知的ナノプロセス研究分野

著作論文

• 新しいビームプロセスによるトップダウン加工 : 究極のトップダウン加工を目指して
• 中性粒子ビームによるダメージフリー高精度プロセス
• 環境共生型・新ガスケミストリーによる高精度シリコン酸化膜エッチング
• パルス時間変調プラズマによる損傷フリー微細・磁性膜エッチング技術
• プラズマエッチングプロセスの課題と今後の展開 : プラズマエッチング高精度化へのチャレンジ

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