関根 誠 | 名大エコトピア

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概要

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関連著者

• 関根 誠

  名大エコトピア

• 寒川 誠二

  東北大学流体科学研究所

• 塚田 勉

  日電アネルバ株式会社研究開発本部

• 塚田 勉

  アネルバ株式会社

• 関根 誠

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室

• 関根 誠

  UConn

• 関根 誠

  EUVA

• 関根 誠

  東芝セミコン社

• 寒川 誠二

  東北大流体研

• 塚田 勉

  日電アネルバ(株)

• 塚田 勉

  アネルバ

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著作論文

• 1.7プラズマエッチング分科内総合講演 : プラズマエッチングの限界と展開
• プラズマエッチングのデバイス応用とその基礎
• 地球温暖化PFCガス対策の進捗と展望 : CVDクリーニングRITE Pj成果展開と産学官連携による実用化の展望
• プラズマプロセス・装置はどこまで制御できるか?
• 半導体プラズマエッチング技術の研究展開 : ASET 成果報告と技術展望

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