塚田 勉 | アネルバ株式会社
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概要
関連著者
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塚田 勉
アネルバ株式会社
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塚田 勉
日電アネルバ株式会社研究開発本部
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塚田 勉
日電アネルバ(株)
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日本電気株式会社シリコンシステム研究所
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小出 知昭
アネルバ株式会社開発研究所
著作論文
- マルチウィンドウ型アンテナを用いた極超短波プラズマ源
- UHFプラズマ源の特性評価およびドライエッチングへの応用
- 地球温暖化PFCガス対策の進捗と展望 : CVDクリーニングRITE Pj成果展開と産学官連携による実用化の展望
- 半導体製造装置からの全フッ素化合物(PFC)排出削減の取組