寒川 誠二 | 日本電気株式会社 シリコンシステム研究所

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関連著者

• 寒川 誠二

  日本電気株式会社シリコンシステム研究所

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• 塚田 勉

  日電アネルバ株式会社研究開発本部

• 中川 行人

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 中川 行人

  アネルバ

• 和仁 悦夫

  アネルバ株式会社

• 塚田 勉

  アネルバ株式会社

• 塚田 勉

  日電アネルバ(株)

• 中川 行人

  アネルバ株式会社

• 小出 知昭

  アネルバ株式会社プロセス開発研究所

• 佐藤 久明

  アネルバ株式会社

• 高木 憲一

  アネルバ株式会社開発研究所

• 野上 裕

  アネルバ株式会社開発研究所

• 小出 知昭

  アネルバ株式会社開発研究所

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著作論文

• マルチウィンドウ型アンテナを用いた極超短波プラズマ源
• 5. UHFプラズマ (プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断V)
• 3. タイムモジュレーションプラズマによる高精度エッチング (ドライエッチング用プラズマ)
• UHFプラズマ源の特性評価およびドライエッチングへの応用

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