関根 誠 | 技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室
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概要
関連著者
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関根 誠
技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室
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林 久貴
技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室
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林 久貴
(株)東芝セミコンダクター社
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栗原 一彰
東芝ulsi研
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関根 誠
(株)東芝 マイクロエレクトロニクス技術研究所
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林 久貴
技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室
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栗原 一彰
(株)東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー
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堀岡 啓治
東芝ULSI研
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林 久貴
東芝ULSI研
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関根 誠
東芝ULSI研
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関根 誠
名大エコトピア
著作論文
- プラズマエッチング技術
- 高アスペクト比コンタクトホール加工における SiO_2/Si_3N_4 選択エッチング特性
- 3. 親ガスおよびラジカルの気相解離過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
- 高アスペクト比ホール加工におけるSiO_2選択エッチング機構
- 半導体プラズマエッチング技術の研究展開 : ASET 成果報告と技術展望