栗原 一彰 | 東芝ulsi研

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概要

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• 同名の論文著者
• 東芝ulsi研の論文著者

関連著者

• 林 久貴

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室

• 栗原 一彰

  東芝ulsi研

• 関根 誠

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室

• 林 久貴

  (株)東芝セミコンダクター社

• 栗原 一彰

  (株)東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 関根 誠

  (株)東芝 マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 堀岡 啓治

  東芝ULSI研

• 林 久貴

  東芝ULSI研

• 関根 誠

  東芝ULSI研

著作論文

• プラズマエッチング技術
• 高アスペクト比コンタクトホール加工における SiO_2/Si_3N_4 選択エッチング特性

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