関根 誠 | (株)東芝 マイクロエレクトロニクス技術研究所

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概要

• 同名の論文著者
• (株)東芝 マイクロエレクトロニクス技術研究所の論文著者

関連著者

• 関根 誠

  (株)東芝 マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 林 久貴

  (株)東芝セミコンダクター社

• 林 久貴

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室

• 大岩 徳久

  (株)東芝セミコンダクター社

• 関根 誠

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室

• 酒井 伊都子

  株式会社東芝研究開発センター

• 小島 章弘

  (株)東芝セミコンダクター社

• 関根 誠

  名古屋大学

• 大岩 徳久

  東芝

• 関根 誠

  名大

• 栗原 一彰

  (株)東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 栗原 一彰

  東芝ulsi研

• 酒井 隆行

  (株)東芝 マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 酒井 伊都子

  (株)東芝セミコンダクター社

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著作論文

• 29a-ZR-3 CF系プラズマエッチングにおける表面反応
• 高アスペクト比コンタクトホール加工における SiO_2/Si_3N_4 選択エッチング特性
• 高アスペクト比ホール加工におけるSiO_2選択エッチング機構
• ドライエッチング技術の現状と将来

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