酒井 伊都子 | 株式会社東芝研究開発センター

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概要

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関連著者

• 酒井 伊都子

  株式会社東芝研究開発センター

• 櫻井 典子

  株式会社東芝研究開発センター

• 大岩 徳久

  株式会社東芝研究開発センター

• 大岩 徳久

  (株)東芝セミコンダクター社

• 関根 誠

  名古屋大学

• 大岩 徳久

  東芝

• 関根 誠

  名大

• 関根 誠

  (株)東芝 マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 酒井 伊都子

  (株)東芝セミコンダクター社

著作論文

• 容量結合型プラズマによる高速シリコン深掘り技術
• 容量結合型プラズマによる高速シリコン深掘り技術
• ドライエッチング技術の現状と将来
• ダイポ-ルリングマグネトロンRIEの磁場設計 (特集:半導体プロセスシミュレ-ションとウルトラクリ-ンテクノロジ-)

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