容量結合型プラズマによる高速シリコン深掘り技術

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概要

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• 2010-07-20

著者

• 酒井 伊都子

  株式会社東芝研究開発センター

• 櫻井 典子

  株式会社東芝研究開発センター

• 大岩 徳久

  株式会社東芝研究開発センター

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