林 久貴 | 技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

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関連著者

• 林 久貴

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室

• 林 久貴

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• 井上 正巳

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

• 辰巳 哲也

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

• 中川 秀夫

  パナソニック

• 辰巳 哲也

  ソニー

• 沖川 満

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• 板橋 直志

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

• 中川 秀夫

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

• 関根 誠

  技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)プラズマ技術研究室

著作論文

• 超先端電子技術開発機構におけるレーザー計測法によるエッチングプラズマ中の解離化学種解析
• 高アスペクト比酸化膜エッチング技術
• 3. 親ガスおよびラジカルの気相解離過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展

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