326 自己整列化微粒子をマスクとした表面微細加工とその光学特性(OS-16 微細加工と表面機能)
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概要
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Microstructure with the size of light wave length can afford optical function such as anti-reflection effect. But achievable area is limited by the manufacturing process. In this study, we used self-assembled φ1μm polystyrene particles as the mask for etching to overcome the limitation of the size, and fabricated six-sided pyramidal trapezoids of 400nm in height on silicon substrate. We also measured the reflectance of the structured substrates and the results showed decreasing of reflectance in 400nm-700nm in wavelength by scattering due to the microstructure.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
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