分子線エビタキシによる超精密加工(第10報)-(100)SiへのSi成長における基板温度の影響-
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概要
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- 1999-09-01
著者
-
金子 新
首都大
-
金子 新
東京都立大学大学院
-
角田 陽
東京高専
-
諸貫 信行
首都大
-
角田 陽
首都大
-
古川 勇二
東京都立大学
-
諸貫 信行
東京都立大学大学院
-
角田 陽
東京都立大学大学院
-
古川 勇二
職業能力開発総合大学校
-
古川 勇二
東京農工大学
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