金属膜付シリコンマイクロプローブの機械特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-01
著者
-
楊 明
首都大学東京大学院工学研究科
-
諸貫 信行
首都大
-
古川 勇二
東京都立大学
-
楊 明
東京都立大学工学部
-
諸貫 信行
東京都立大学大学院
-
古川 勇二
職業能力開発総合大学校
-
古川 勇二
東京農工大学
-
佐々木 智憲
東京都立産業技術研究センター
-
楊 明
神戸大学 工学部 応用化学科
-
楊 明
東京都立大学大学院工学研究科
-
佐々木 智憲
東京都産業技術研究セ
関連論文
- エバネッセント光による壁面極近傍の流動測定に関する研究 : 高分子添加がマイクロチャンネル内流れに及ぼす影響(流体工学,流体機械)
- A101 固体表面に施した微細な凹凸加工が紅色光合成細菌のバイオフィルム形成に与える影響(細胞・分子工学)
- 516 固体表面に施した微細矩形溝が紅色光合成細菌のバイオフィルム形成に与える影響(GS-2:一般セッション(2)材料)
- T0502-2-1 マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(2)マイクロ・ナノフルイズ)
- T1101-2-4 滑り防止のための手すり表面微細構造設計(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
- T1101-1-4 パターン基板へ自己整列を用いた異種粒子複合構造の作製(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(1))
- C04 壁面微細構造による液体の効率的除去(OS-12 ナノ加工と表面機能(1))
- 414 ナノ粒子の大面積自己整列とエッチングマスク応用に関する研究(T03-3 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(3),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 405 転倒事故防止のための床面表面微細構造設計(T03-1 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 21419 フィルムへの微粒子整列に関する研究(MEMS,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21418 表面微細構造を利用した液体の効率的排除(MEMS,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21717 表面微細構造による濡れと流動の異方性とその応用(流動,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 330 表面微細構造による床材の摩擦特性改善(OS-16 微細加工と表面機能)
- 326 自己整列化微粒子をマスクとした表面微細加工とその光学特性(OS-16 微細加工と表面機能)
- 濡れ性パターンを用いた微粒子の自己整列(第1報) : 手法の提案と整列条件の検討
- 単結晶SiC薄膜の製作と微小構造材料への適用
- エピタキシャル成長における3次元島形成を利用したナノテクスチャ創成に関する研究
- 20304 ぬれ性パターン上における液体の挙動と微粒子整列への応用(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
- 521 振動加工のための微小工具の機上成形(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 520 多軸振動工具を用いた表面テクスチャリング(OS7 ナノ・マイクロ加工)
- 濡れ性制御のためのテクスチャ設計(流体工学,流体機械)
- 微小片持ちはりのタッピングによる表面機械特性の推定と識別
- T1101-1-5 DRIE加工溝側壁の濡れ性を利用した選択的微粒子自己整列(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(1))
- 金型内蔵マイクロセンシングシステムの開発
- 2513 金型内蔵センサーシステムを用いた曲げ加工計測(J10-3 計測・モニタリング・解析(3),J10 知的材料・構造システム)
- 第4次将来計画検討委員会報告書
- 1524 テクスチャによる固体表面の濡れ性制御に関する研究
- 表面テクスチャによる漏れ性制御の試み
- テクスチャ化したすべり面の摩擦方向性を利用した微小物体の駆動
- Si-MBEによるナノテクスチャ面の創成 : Si(100)基板におけるメサ上での3次元島の配列
- ファジイ適応制御を用いた可変しわ抑え力円筒深絞り加工 : 成形限界と影響因子
- 可変しわ抑え力円筒深絞りのファジイ適応制御
- 変圧しわ抑え円筒深絞りのファジイモデルによる最適しわ抑え力プロセス制御
- T0502-2-2 エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(2)マイクロ・ナノフルイズ)
- 342 3D-TIRFMによるナノ粒子密度分布測定と溶液の電気的影響の評価(T06-4 マイクロ・ナノ熱流体システム(4) 計測,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1420 エバネッセント光によるマイクロチャネル内希薄高分子水溶液の流動特性の評価(S30-4 複雑流体の流動現象(4),S30 複雑流体の流動現象)
- 1438 ナノ粒子とマイクロチャンネル壁面間における相互作用力の検証(S38-2 気泡・粒子,S38 マイクロ・ナノフルイズ)
- 3314 マイクロチャンネルにおける流れのナノ粒子濃度に及ぼす影響(J26-3 マイクロメカトロニクス(3),J26 マイクロメカトロニクス)
- 1125 マイクロチャンネル壁面近傍における微粒子運動の評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 2613 マイクロチャンネル壁面近傍における微粒子運動の評価(S44-2 マイクロ・ナノ流れの実験・計測,S44 マイクロ・ナノフルイディクス)
- 2328 エバネッセント光によるマイクロチャンネル内希薄高分子水溶液の速度場計測(S42-6 複雑流体の流動現象(6),S42 複雑流体の流動現象)
- 306 エバネッセント光を用いた壁面近傍の流速測定(OS3-2 マイクロ・ナノフルイディクス(流体物理),OS3 マイクロ・ナノフルイディクス,オーガナイズドセッション)
- 113 希薄高分子水溶液の壁面極近傍の速度分布測定に関する研究(S33-2 様々なマイクロ流動現象,S33 マイクロ・ナノフルイディクス)
- 811 Mg 合金の結晶粒形状および微視組織変化に関するフラクタル解析の適用
- 液晶を含む混合系の相平衡に対する圧力効果
- ナノ・マイクロ加工技術 (600号・学会創立50周年記念「日本塑性加工学会 この50年の足跡と将来像」特集)
- ナノ・マイクロ加工
- 規則形状面へのMBEによるナノテクスチャ面の創成:直線を配置した(111)シリコン面におけるテクスチャ
- 低エネルギーイオン支援によるスパッタ薄膜の高性能化
- 規則形状面へのMBEによるナノテクスチャー面の創成 : 円形穴を配置した(111)シリコン面におけるテクスチャー
- 分子線エピタキシによる(100),(110)単結晶Si面の平滑化過程
- 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第5報) : 分子線入射量が表面性状に及ぼす影響
- 金属膜付シリコンマイクロプローブの機械特性
- マイクロプローブの接触抵抗
- 微小はり群を用いた多機能共振型センサ
- 分子線エピタキシによる単結晶Si平滑化過程
- 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第4報) : 基板のもつ熱エネルギが表面性状に及ぼす影響
- 分子線エビタキシによる超精密加工(第10報)-(100)SiへのSi成長における基板温度の影響-
- 分子線エビタキシによる超精密加工(第9報)-(100)および(110)Siにおける平滑化過程の相違-
- 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第3報) -(111)Si基板へのSiC創成過程の観察-
- ダイアフラム型金属MEMSマイクロポンプ用マイクロバルブの特性評価
- T1601-2-5 カーボンナノチューブによるバイオ分析用ナノ・マイクロ構造作製と特性評価(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))
- 316 カーボンナノチューブを用いた反応場の作製および評価に関する研究(T02-2 マイクロナノメカトロニクス(2),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- シリコンの異方性エッチングを用いた微小はりの製作-機械特性の評価-
- ニューラルネットワークを利用したV曲げ加工の知能化制御
- モデル制御によるV曲げ加工の高精度化
- 可変しわ抑え力分布制御プレス成形シミュレータの開発とその性能評価 : プレス成形におけるしわ抑え力分布知的制御に関する研究 第1報
- CAE援用ナノインデンテーション法を用いた薄膜の異方性機械的特性評価 (特集1 トライボロジー試験・測定技術)
- 2406 低エネルギーイオン照射による金属薄膜の機械特性の改善(J22-2 材料特性計測とマイクロ機構,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
- 20305 金属MEMS用マイクロ深絞りにおける金型表面性状と成形特性(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
- 低エネルギーイオン照射による金属薄膜性状に与える影響
- ウェットプロセス膜の低エネルギーArイオン照射による高性能化
- 板材V曲げ加工における知的センシング・制御に関する研究
- 板材成形におけるスプリングバックの計測制御
- 知能化技術
- 南関東支部 若手会員向けの活動
- マイクロマシン用金属薄膜の高性能化
- 塑性加工における知的センシング
- シミュレーションデータベースを用いた知的V曲げ加工プロセス制御に対するオンライン適応フィルタの開発
- 板材の深絞り加工・曲げ加工の知能化技術
- プレコートアルミニウム板の再絞り製品の表面性状の評価
- 数値シミュレーションデータベースを用いた知的V曲げ加工システム
- データベースとファジィ推論モデルを用いた知能化V曲げ加工システムの開発
- 5508 金属材料マイクロポンプの創製と特性評価(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
- 315 金属MEMS作製に向けたマイクロ溶接の研究(T02-2 マイクロナノメカトロニクス(2),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- J0402-1-6 マイクロ金型のトライボロジー特性評価(締結・接合部の力学・プロセスと信頼性評価(1))
- 知能化工具によるフレキシブルL曲げ加工システムの開発
- 知能化技術
- 金属板材の知能化V曲げ加工の高精度化に関する研究 : 塑性変形による弾性係数の変化とスプリングバックへの影響(塑性工学)
- ナノ・マイクロ加工
- 金属材料によるマイクロポンプバルブの創成
- 金型計測情報に基づく塑性加工プロセス情報の計測(型の知能化と型内現象の計測・可視化)
- プレス金型内マイクロ一体成形技術
- 3318 金属材料の表面性状がタンパク質分子の吸着挙動に与える影響(J26-4 マイクロメカトロニクス(4),J26 マイクロメカトロニクス)
- 3021 イオン照射を用いたマイクロ金型の表面処理(S32-2 表面改質とトライボロジー(2),S32 表面改質とトライボロジー)
- 5182-O板材の成形性に及ぼす成形速度と潤滑の影響
- 曲げ加工のインテリジェント化技術
- 超先進構造・材料としての知的材料(インテリジェント・マテリアル)-28-知的金型・工具を用いたプレス成形
- 薄板プレス成形の知能化技術
- 新しい曲げ工具の開発とその特性--知能化V曲げ加工システムの開発