ダイアフラム型金属MEMSマイクロポンプ用マイクロバルブの特性評価

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2008-07-01

著者

• 伊藤 恵司

  菊地製作所

• 楊 明

  首都大学東京大学院工学研究科

• 杉井 康彦

  工学院大

• 杉井 康彦

  工学院大学

• 楊 明

  首都大

• 加藤 新之介

  工学院大

関連論文

• エバネッセント光による壁面極近傍の流動測定に関する研究 : 高分子添加がマイクロチャンネル内流れに及ぼす影響(流体工学,流体機械)
• T0502-2-1 マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(2)マイクロ・ナノフルイズ)
• 103 マイクロ流路内で培養した内皮細胞の表面近傍の速度場計測(OS1-1:循環器系・血流の計測とメカニクス(1),OS1:循環器系・血流の計測とメカニクス)
• 内皮細胞を用いた疑似血管デバイス内の速度場計測
• 金型内蔵マイクロセンシングシステムの開発
• 2513 金型内蔵センサーシステムを用いた曲げ加工計測(J10-3 計測・モニタリング・解析(3),J10 知的材料・構造システム)
• 第4次将来計画検討委員会報告書
• ファジイ適応制御を用いた可変しわ抑え力円筒深絞り加工 : 成形限界と影響因子
• 可変しわ抑え力円筒深絞りのファジイ適応制御
• 変圧しわ抑え円筒深絞りのファジイモデルによる最適しわ抑え力プロセス制御
• T0502-2-2 エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(2)マイクロ・ナノフルイズ)
• 342 3D-TIRFMによるナノ粒子密度分布測定と溶液の電気的影響の評価(T06-4 マイクロ・ナノ熱流体システム(4) 計測,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 1420 エバネッセント光によるマイクロチャネル内希薄高分子水溶液の流動特性の評価(S30-4 複雑流体の流動現象(4),S30 複雑流体の流動現象)
• 1438 ナノ粒子とマイクロチャンネル壁面間における相互作用力の検証(S38-2 気泡・粒子,S38 マイクロ・ナノフルイズ)
• 3314 マイクロチャンネルにおける流れのナノ粒子濃度に及ぼす影響(J26-3 マイクロメカトロニクス(3),J26 マイクロメカトロニクス)
• 1125 マイクロチャンネル壁面近傍における微粒子運動の評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 5512 エバネッセント光を用いた壁面近傍における3次元的微粒子運動計測(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
• 2613 マイクロチャンネル壁面近傍における微粒子運動の評価(S44-2 マイクロ・ナノ流れの実験・計測,S44 マイクロ・ナノフルイディクス)
• 2328 エバネッセント光によるマイクロチャンネル内希薄高分子水溶液の速度場計測(S42-6 複雑流体の流動現象(6),S42 複雑流体の流動現象)
• マイクロチューブ内におけるBSA単分散溶液流れの抵抗低減効果
• 306 エバネッセント光を用いた壁面近傍の流速測定(OS3-2 マイクロ・ナノフルイディクス(流体物理),OS3 マイクロ・ナノフルイディクス,オーガナイズドセッション)
• 2410 マイクロチャンネル内流れにおける壁面近傍の微粒子運動の評価(J22-3 マイクロ流体素子と弾性表面波応用,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
• 113 希薄高分子水溶液の壁面極近傍の速度分布測定に関する研究(S33-2 様々なマイクロ流動現象,S33 マイクロ・ナノフルイディクス)
• エバネッセント光を用いた壁面近傍の溶液中高分子の可視化 : ブラウン運動解析および濃度測定
• 1116 エバネッセント光を用いた表面近傍におけるコロイド粒子の濃度測定(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 20308 生化学分析用デフューザマイクロポンプデバイス(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
• 20307 金属材料マイクロポンプの創製と評価に関する研究(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
• マイクロディフューザーポンプの高効率化(S20-3 マイクロチャンネル要素,S20 マイクロ・ナノスケールの流動現象)
• せん断応力負荷下で内皮細胞を培養した疑似血管マイクロデバイスの開発と形態変化の計測(流体工学,流体機械)
• 811 Mg 合金の結晶粒形状および微視組織変化に関するフラクタル解析の適用
• 液/液光導波路を用いた不均一場で起こる抗酸化剤によるラジカル還元反応の観察
• 液液光導波路を用いた水/水界面二分子反応機構の解析
• 1114 微小流路内における気泡特性評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
• 液晶を含む混合系の相平衡に対する圧力効果
• ナノ・マイクロ加工技術 (600号・学会創立50周年記念「日本塑性加工学会 この50年の足跡と将来像」特集)
• ナノ・マイクロ加工
• 低エネルギーイオン支援によるスパッタ薄膜の高性能化
• 金属膜付シリコンマイクロプローブの機械特性
• マイクロプローブの接触抵抗
• 微小はり群を用いた多機能共振型センサ
• ダイアフラム型金属MEMSマイクロポンプ用マイクロバルブの特性評価
• T1601-2-5 カーボンナノチューブによるバイオ分析用ナノ・マイクロ構造作製と特性評価(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(2))
• 316 カーボンナノチューブを用いた反応場の作製および評価に関する研究(T02-2 マイクロナノメカトロニクス(2),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• シリコンの異方性エッチングを用いた微小はりの製作-機械特性の評価-
• ニューラルネットワークを利用したV曲げ加工の知能化制御
• モデル制御によるV曲げ加工の高精度化
• 可変しわ抑え力分布制御プレス成形シミュレータの開発とその性能評価 : プレス成形におけるしわ抑え力分布知的制御に関する研究 第1報
• CAE援用ナノインデンテーション法を用いた薄膜の異方性機械的特性評価 (特集1 トライボロジー試験・測定技術)
• 2406 低エネルギーイオン照射による金属薄膜の機械特性の改善(J22-2 材料特性計測とマイクロ機構,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
• 20305 金属MEMS用マイクロ深絞りにおける金型表面性状と成形特性(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
• 低エネルギーイオン照射による金属薄膜性状に与える影響
• ウェットプロセス膜の低エネルギーArイオン照射による高性能化
• 板材V曲げ加工における知的センシング・制御に関する研究
• 板材成形におけるスプリングバックの計測制御
• 知能化技術
• 南関東支部 若手会員向けの活動
• マイクロマシン用金属薄膜の高性能化
• 塑性加工における知的センシング
• シミュレーションデータベースを用いた知的V曲げ加工プロセス制御に対するオンライン適応フィルタの開発
• 板材の深絞り加工・曲げ加工の知能化技術
• プレコートアルミニウム板の再絞り製品の表面性状の評価
• 数値シミュレーションデータベースを用いた知的V曲げ加工システム
• データベースとファジィ推論モデルを用いた知能化V曲げ加工システムの開発
• 5508 金属材料マイクロポンプの創製と特性評価(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
• マイクロPIV法による疑似血管マイクロデバイス内の内皮細胞にかかるせん断応力の計測
• 1602 マイクロPIV法を用いたマイクロ流路内で培養した内皮細胞にかかるせん断応力の計測(OS16-1 生物・生体工学に関する流れ,オーガナイズドセッション)
• 5511 超音波を用いたマイクロ流路内における微粒子の壁面への集積(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
• 315 金属MEMS作製に向けたマイクロ溶接の研究(T02-2 マイクロナノメカトロニクス(2),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 壁面が生体流れに及ぼす影響 : AFMを用いたせん断力測定(OS.13 溶液・分散系のマイクロ・ナノ構造と流れの相互作用)
• バルブレスデフューザマイクロポンプデバイス(S20-3 マイクロチャンネル要素,S20 マイクロ・ナノスケールの流動現象)
• 生体高分子を含むマイクロ流れに壁面が及ぼす影響(S20-2 様々なマイクロ流動現象,S20 マイクロ・ナノスケールの流動現象)
• エバネッセント光を用いたマイクロ流れの可視化に関する研究
• ミキサー一体化バルブレスマイクロポンプデバイス(OS.12 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
• 1526 はっ水性壁面が生体流体のマイクロ流れに及ぼす影響
• マイクロチャンネル中の生体流体の挙動に関する研究
• J0402-1-6 マイクロ金型のトライボロジー特性評価(締結・接合部の力学・プロセスと信頼性評価(1))
• 知能化工具によるフレキシブルL曲げ加工システムの開発
• 知能化技術
• 金属板材の知能化V曲げ加工の高精度化に関する研究 : 塑性変形による弾性係数の変化とスプリングバックへの影響(塑性工学)
• ナノ・マイクロ加工
• 金属材料によるマイクロポンプバルブの創成
• 金型計測情報に基づく塑性加工プロセス情報の計測(型の知能化と型内現象の計測・可視化)
• プレス金型内マイクロ一体成形技術
• 3318 金属材料の表面性状がタンパク質分子の吸着挙動に与える影響(J26-4 マイクロメカトロニクス(4),J26 マイクロメカトロニクス)
• 3021 イオン照射を用いたマイクロ金型の表面処理(S32-2 表面改質とトライボロジー(2),S32 表面改質とトライボロジー)
• 346 マイクロ気液二相流における壁面に付着した液滴の三次元形状計測(T06-4 マイクロ・ナノ熱流体システム(4) 計測,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 液液光導波路マイクロ流体デバイスの流動の可視化
• 1112 マイクロLIF法を用いた壁面に付着した微小液滴の3次元形状計測(2)(OS11-3 ナノ・マイクロフルイディクス(マイクロ混相流),OS11 ナノ・マイクロフルイディクス,オーガナイズドセッション)
• マイクロスケールの速度場計測法の最新動向
• 1112 マイクロLIF法を用いた壁面に付着した微小液滴の3次元形状計測(1)(OS11-3 ナノ・マイクロフルイディクス(マイクロ混相流),OS11 ナノ・マイクロフルイディクス,オーガナイズドセッション)
• マイクロLIF法を用いた壁面に付着した微小液滴の計測法の開発
• T1602-3-4 鍛造によるチタン薄材表面の微細成形([T1602-3]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
• T1601-2-5 樹脂転写によるカーボンナノチューブ機能表面を有する3次元構造体の作製([T1601-2]マイクロナノメカトロニクス(2))
• J0404-8-3 成形加工金型内臓センサーの開発([J0404-8]知的材料・構造システム(8):各種センシング)
• T1601-3-2 Arプラズマ照射によるカーボンナノチューブの表面改質と密度制御([T1601-3]マイクロナノメカトロニクス(3))
• 5182-O板材の成形性に及ぼす成形速度と潤滑の影響
• 曲げ加工のインテリジェント化技術
• 超先進構造・材料としての知的材料(インテリジェント・マテリアル)-28-知的金型・工具を用いたプレス成形
• 薄板プレス成形の知能化技術
• 新しい曲げ工具の開発とその特性--知能化V曲げ加工システムの開発

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク