バルブレスデフューザマイクロポンプデバイス(S20-3 マイクロチャンネル要素,S20 マイクロ・ナノスケールの流動現象)
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概要
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A design approach of valve-less diffuser micropump driven by piezoelectric element (PZT) was developed, with the result that a flow rate of 210 μL/min and maximum pressure of 37kPa were achieved. In addition, we showed the effect of the viscosity and the cross-section areas of before/after chamber on the PZT displacement magnitude performance. These results were utilized for the pump development to equalize the flow rate of solutions with different viscosity. The pump has high potential for application of bio-and chemical micro analysis system.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
著者
-
神田 健介
JST ERATO
-
清野 信子
富士電機システムズ
-
篠田 正紀
富士電機システムズ
-
友高 正嗣
富士電機システムズ
-
神田 健介
都立大・工
-
山口 理知
都立大・工
-
楊 明
都立大・工
-
楊 明
首都大
-
清野 信子
首都大学東京都市環境科学研究科環境調和・材料化学専攻
-
小澤 知之
都立大・工
-
篠田 正紀
富士電機システムズ(株)
-
山口 理知
都立大
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