マイクロディフューザーポンプの高効率化(S20-3 マイクロチャンネル要素,S20 マイクロ・ナノスケールの流動現象)
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概要
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In this research, it aims to improve the transporting efficiency of diffuser pump by serial connecting the pumps and using elastic material as a buffer. A Si-based diffuser pump with two serially connected of chambers and diaphragm, and a silicone tube between two chambers was developed and evaluated. This system showed high transporting efficiency by using the effects of phase shift and resonating elastic materials.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
著者
-
神田 健介
JST ERATO
-
神田 健介
都立大院
-
楊 明
都立大院
-
清野 信子
富士電機システムズ
-
篠田 正紀
富士電機システムズ
-
山口 理知
都立大院
-
小沢 知之
都立大院
-
楊 明
首都大
-
清野 信子
首都大学東京都市環境科学研究科環境調和・材料化学専攻
-
小澤 知之
都立大・工
-
篠田 正紀
富士電機システムズ(株)
-
山口 理知
都立大
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