521 振動加工のための微小工具の機上成形(OS7 ナノ・マイクロ加工)
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概要
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Vibration machining is applied for micromachining of brittle materials. However, shaping of the tiny tool is difficult though it has strong effect on the machining quality. This paper proposes a method of on-the-machine shaping of the tiny tool. The method is using single-crystal diamond tool, to shape the sintered-carbide tiny tool utilizing the ultrasonic vibration for the subsequent machining. Comparing the results of different vertical feeds, it was found that better tip profile and surface quality can be obtained with less vertical step feed. The importance of monitoring the vertical force and the video in the machining process is also emphasized.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
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