単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロスライダの製作

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1996-09-01

著者

• 諸貫 信行

  首都大

• 角田 陽

  首都大

• 諸貫 信行

  都立大

• 角田 陽

  都立大

• 内山 賢治

  日本大学

• 古川 勇二

  職業能力開発総合大学校

• 古川 勇二

  都立大学大学院

• 内山 賢治

  都立大

関連論文

• A101 固体表面に施した微細な凹凸加工が紅色光合成細菌のバイオフィルム形成に与える影響(細胞・分子工学)
• 516 固体表面に施した微細矩形溝が紅色光合成細菌のバイオフィルム形成に与える影響(GS-2:一般セッション(2)材料)
• T1101-2-4 滑り防止のための手すり表面微細構造設計(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))
• T1101-1-4 パターン基板へ自己整列を用いた異種粒子複合構造の作製(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(1))
• C04 壁面微細構造による液体の効率的除去(OS-12 ナノ加工と表面機能(1))
• 414 ナノ粒子の大面積自己整列とエッチングマスク応用に関する研究(T03-3 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(3),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 405 転倒事故防止のための床面表面微細構造設計(T03-1 マイクロナノ理工学:nmからmmまでのテクスチャリングの創成と機能(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 21419 フィルムへの微粒子整列に関する研究(MEMS,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
• 21418 表面微細構造を利用した液体の効率的排除(MEMS,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
• 21717 表面微細構造による濡れと流動の異方性とその応用(流動,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
• 330 表面微細構造による床材の摩擦特性改善(OS-16 微細加工と表面機能)
• 326 自己整列化微粒子をマスクとした表面微細加工とその光学特性(OS-16 微細加工と表面機能)
• 濡れ性パターンを用いた微粒子の自己整列(第1報) : 手法の提案と整列条件の検討
• 単結晶SiC薄膜の製作と微小構造材料への適用
• エピタキシャル成長における3次元島形成を利用したナノテクスチャ創成に関する研究
• 20304 ぬれ性パターン上における液体の挙動と微粒子整列への応用(OS14 機能性マイクロデバイスの創製・評価)
• 521 振動加工のための微小工具の機上成形(OS7 ナノ・マイクロ加工)
• 520 多軸振動工具を用いた表面テクスチャリング(OS7 ナノ・マイクロ加工)
• 濡れ性制御のためのテクスチャ設計(流体工学,流体機械)
• 微小片持ちはりのタッピングによる表面機械特性の推定と識別
• T1101-1-5 DRIE加工溝側壁の濡れ性を利用した選択的微粒子自己整列(マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(1))
• 1524 テクスチャによる固体表面の濡れ性制御に関する研究
• 表面テクスチャによる漏れ性制御の試み
• テクスチャ化したすべり面の摩擦方向性を利用した微小物体の駆動
• Si-MBEによるナノテクスチャ面の創成 : Si(100)基板におけるメサ上での3次元島の配列
• 規則形状面へのMBEによるナノテクスチャ面の創成:直線を配置した(111)シリコン面におけるテクスチャ
• 低エネルギーイオン支援によるスパッタ薄膜の高性能化
• 規則形状面へのMBEによるナノテクスチャー面の創成 : 円形穴を配置した(111)シリコン面におけるテクスチャー
• 分子線エピタキシによる(100),(110)単結晶Si面の平滑化過程
• 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第5報) : 分子線入射量が表面性状に及ぼす影響
• 金属膜付シリコンマイクロプローブの機械特性
• マイクロプローブの接触抵抗
• 微小はり群を用いた多機能共振型センサ
• 分子線エピタキシによる単結晶Si平滑化過程
• 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第4報) : 基板のもつ熱エネルギが表面性状に及ぼす影響
• 分子線エビタキシによる超精密加工(第10報)-(100)SiへのSi成長における基板温度の影響-
• 分子線エビタキシによる超精密加工(第9報)-(100)および(110)Siにおける平滑化過程の相違-
• 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第3報) -(111)Si基板へのSiC創成過程の観察-
• 微小はり群による高機能センサの設計と試作
• 画像処理による微小物体の運動計測 第2報 フィルタ処理が輪郭線抽出精度に及ぼす影響
• 微小しゅう動機構に作用する表面吸着力
• 微小物体のすべり摩擦特性
• 分子線エピタキシによる超精密加工(第8報) -(100)および(110)Si基板の平面創成過程-
• 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第2報) -C_2H_2分圧が炭化層の表面性状に及ぼす影響-
• ヘリコンスパッタ分子線源を用いたMBEによる単結晶SiC平滑面の創成に関する研究(第1報) -炭素源にC_2H_2を用いた場合-
• 電子部品・基板接合部の検査法に関する研究 -超音波による観察-
• 振動を用いた微小直線運動機構の位置決め制御
• 真空環境下における微小物体の摩擦力特性
• 分子線エピタキシによる超精密加工(第7報) -創成面の形状解析-
• 画像処理による微小物体の運動計測 第1報 輪郭抽出におけるノイズフィルタサイズの自動選択
• 分子線エピタキシによる超精密加工(第6報)-基板面方位が表面性状に及ぼす影響-
• シリコン製微小直線運動機構の試作
• ポテンシャル場を考慮した物体の定常停止位置の予測 -振動部品整列機設計への応用-
• 分子線エピタキシによる超精密加工(第5報) -平面創成過程の観察-
• 分子線エピタキシによるSiC平滑面の創成(第1報) -Si基板上へのSiC成長-
• シリコン製微小運動機構の運動特性
• デルタオペレータを用いた位置決め制御
• 単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロスライダの製作
• 分子線エピタキシによる超精密加工(第4報) -分子線入射量が表面性状に及ぼす影響-
• 顕微画像による微小物体の三次元運動計測
• 高速・高精度制御実現のための制御アルゴリズムに関する研究(第1報) : 修正デルタオペレータの提案
• 分子線エピタキシ(MBE)による超精密加工(第3報)-表面拡散が表面性状に及ぼす影響-
• リアルタイム制御システムの構成 -修正デルタオペレータの適用-
• レーザアシスト異方性エッチングに関する研究
• シリコンの異方性エッチングを用いた微小はりの製作-機械特性の評価-
• 接触する微小2平面間に作用する凝着力 : 寸法,雰囲気および表面濡れ性の影響
• 画像処理による微小物体の三次元運動計測 : 原理と適用
• 410 機械加工を併用した大規模高精度異方性エッチング(第 3 報)
• 微小はり群による高機能センサの設計と試作(第2報)
• 微小しゅう動機構に作用する表面吸着力(第2報)
• 超音波を利用したBGA実装検査法 (MES'98 第8回マイクロエレクトロニクスシンポジウム) -- (CSP・BGA)
• 浴室床材のトライボロジー
• 微細構造による濡れ性・流動性の制御(微細表面構造がつくる新機能)
• テクスチャの摩擦方向性を利用した微小しゅう動体の運動拘束
• すべり面のテクスチャ化によるマイクロ物体の運動拘束
• 1523 微細な凹凸を有する壁面の流動特性に関する研究
• 空気静圧軸受の利用による超精密案内面の設計と評価
• 親水/疎水パターンによる自律的液滴移動に関する研究
• 微細・精密加工技術を利用した機能表面の創製(微細加工と表面機能研究分科会,専門委員会・分科会研究レビュー)
• ナノ・マイクロ形状創成技術と表面機能
• T1602-1-1 表面微細構造が液滴の転落角と接触角ヒステリシスに及ぼす影響とその定式化([T1602-1]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(1))
• 単結晶シリコンを用いた弾性ステージの設計と試作
• T1602-3-2 微粒子自己整列の大面積化([T1602-3]マイクロナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(3))
• エントロピー評価を用いた機械機能の組合せ設計
• 微細構造化による安全安心な表面設計 : 手足に触れる人工物表面の摩擦制御と滑り防止 (デザインシンポジウム特集論文)
• 20312 ディスペンサと精密ステージの組合せによる微粒子のパターン化自己整列(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(4),オーガナイズドセッション)
• B26 微粒子の自己整列と研磨工具への応用(OS12 ナノ加工と表面機能(1))
• 海外から見た日本の人づくりI-ドイツ(第2部 声)(グローバル化時代の人づくり : 明日を描く若手技術者・研究者へ)
• 107 機能表面の新たな展開 : サーベイ報告
• 表面微細構造の形成とその機能性
• 518 海外における表面微細構造の研究・開発動向
• 超音波によるBGA実装欠陥検査 (実装技術ガイドブック2000年--CSP,ビルドアップ基板,ハンダ付けなど実装技術を集大成) -- (実装関連製造装置編)
• 新材料の加工戦略 : 材料特性のどこに着目して加工するか?(話題の材料を活かす加工技術)
• 「話題の材料を活かす加工技術」小特集号発刊に際して(話題の材料を活かす加工技術)
• ロボット・ルネッサンス : 人間とロボットは共存できるか, 監修吉川弘之, 発行三田出版会, 四六判, 198ページ, 2000円
• 2. 加工技術の研究状況 : 2・5 工作機械 (機械工学年鑑(1995年)加工学・加工機器)
• 特集「3次元微細形状創成技術」の刊行にあたって(3次元微細形状創成技術)
• 機械の知能化設計(第5報) -情報量による設計の事前評価-
• 2. 加工技術の研究状況 : 2・5 工作機械(機械工学年鑑(1992年)加工学・加工機器)
• 摩擦駆動機構の超精密工作機械への応用(超精密位置決め技術の現状)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク