摩擦駆動機構の超精密工作機械への応用(<特集>超精密位置決め技術の現状)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1991-10-05

著者

• 諸貫 信行

  首都大

• 諸貫 信行

  東京都立大学大学院

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