画像処理による微小物体の三次元運動計測 : 原理と適用
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概要
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This paper proposes a method to measure the three-dimensional motion of a microscopic object. A camera observes the object and the captured images are analyzed to calculate the displacements, where the object is assumed to be rigid and its dimensions are known in advance. The formulation and procedures are established first. Then this method is applied to the measurement of a linear motion microsystem, in which a silicon mover slides along the V grooves anisotropically etched on a silicon wafer. The dimension of the mover is 370×398×450μm. A high-speed video camera is used to adapt to the expected high-speed motion. The results show that quick angular motion occurred during short time as 10ms. Finally, the improvement of the resolution and accuracy is discussed.
- 2001-09-05
著者
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