ヘリコンスパッタ分子線源を用いたMBEによる単結晶SiC平滑面の創成に関する研究(第1報) -炭素源にC_2H_2を用いた場合-
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
角田 陽
東京高専
-
諸貫 信行
首都大
-
角田 陽
首都大
-
古川 勇二
東京都立大学
-
諸貫 信行
東京都立大学大学院
-
角田 陽
東京都立大学大学院
-
森 剛一郎
東京都立大学
-
古川 勇二
職業能力開発総合大学校
-
古川 勇二
東京農工大学
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