B26 微粒子の自己整列と研磨工具への応用(OS12 ナノ加工と表面機能(1))
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概要
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This paper discusses the patterned self-assembly of fine particles and its application to grinding tools. By combining dipenser and stage control, aqueous colloidal suspension was deposited on the required portion of a substrate. With the evaporation of solvent, dispersed particles made-up packed structure. Simple patternings of lines shows that thin line as 20μm width can be patterned. Then, spiral pattern was attemped as a tool considering flow of the coolant and space for chips-pocket along with the rotaion of tool. Finnaly, self-assembled particles were transferred to another substrate using Photopolymer to keep the tool height at constant independent of the layers of assembly in addition to the fixation of the particles.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-11-19
著者
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