117102 ナノインデンテーション法による単結晶シリコンのマルテンス硬さ値に及ぼす結晶方位の影響(第2報)(一般01 材料科学・材料力学1)
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概要
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Recently, the devices have been progress miniaturization and ultra thin in kinds of fields, especially microelectronic devices and information storage media. Therefore, the measurement of near-surface is very difficult. However, their characteristics are very important in engineering. In this study, influence of phase transformation on mechanical properties of single crystal silicon is investigated. This paper describes how to write a manuscript.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-03-17
著者
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