1007 マイクロ・ナノ転写法によるパターニング評価(OS13-5 機械要素とトライボロジー(5),オーガナイズドセッション:13 機械要素とトライボロジー)
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2008-03-01
著者
-
鈴木 健司
工学院大学工学部機械システム工学科
-
下山 勲
東京大学 大学院情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
-
小林 光男
工学院大
-
小林 光男
工学院大学
-
福田 勝己
東京高専
-
小林 光男
工学院大学工学部
-
鈴木 健司
東大
-
鈴木 健司
工学院大
-
尾上 弘晃
東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
下山 勲
東大情報理工
-
尾上 弘晃
UCB
-
西嶋 拓哉
東京高専
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