ポリイミドの熱収縮を用いた3次元マイクロ構造の自己組立の研究
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概要
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This paper describes three dimensional (3-D) micro mechanisms fabricated by a simple self-assembly process using thermal shrinkage of polyimide. The proposed method allows us to fold the hinged structure out of the wafer plane automatically and to stay bent without special lock mechanisms. Hinged structures were fabricated by using surface micromachining techniques and heated in an oven. Increase in the bending angle due to shrinkage of polyimide was observed with increasing curing time, curing temperature, and length of the polyimide hinge. In these parameters, adjustment of the curing times is the most suitable for the precise control of bending angle. We have been measured the maximum bending angle of 170°.
- 2005-10-30
著者
-
鈴木 健司
工学院大学工学部機械システム工学科
-
高信 英明
工学院大学工学部機械システム工学科
-
三浦 宏文
工学院大学
-
鈴木 健司
東大
-
三浦 宏文
工学院大学顧問
-
高信 英明
工学院大学 機械システム工学科
-
鈴木 健司
工学院大学
-
山田 秀謙
工学院大学機械工学専攻修士課程
-
高信 英明
工学院大学
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