T1501-1-4 MENS技術を利用した気流センサの研究(マイクロ・ナノ技術のロボティクス応用(1))
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概要
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This paper describes a capacitance type airflow sensor, based on insects' sensillar seta. Some insects such as crickets begin escape behavior by sensing a minute airflow with sensillar seta. The sensor consists of a metal cantilever and an insulation layer. Air flow bends a hair connected to the cantilever, which causes the deflection of the cantilever and change in the capacitance between the cantilever and the substrate. The sensor was attached to the linear guide and moved at various speeds up to 750mm/s. The capacitance was measured using an LCR meter. The results showed that the capacitance increases linearly with increasing speed of air flow ranging from 350mm/s to 750mm/s.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
-
鈴木 健司
工学院大学工学部機械システム工学科
-
高信 英明
工学院大学工学部機械システム工学科
-
三浦 宏文
工学院大学
-
高信 英明
機械システム工学科准教授
-
鈴木 健司
機械システム工学科教授
-
高信 英明
オキノ工業
-
鈴木 健司
東大
-
三浦 宏文
工学院大学顧問
-
野中 昂平
工学院大
-
鈴木 健司
工学院大
-
高信 英明
工学院大, 早稲田大
-
高信 英明
工学院大
-
高西 淳夫
早稲田大学
-
三浦 宏文
工学院大
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