内山 賢治 | 都立大
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概要
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西 大舗
都立大
著作論文
- シリコン製微小直線運動機構の試作
- シリコン製微小運動機構の運動特性
- 単結晶シリコンの異方性エッチングによるマイクロスライダの製作
- シリコンの異方性エッチングを用いた微小はりの製作-機械特性の評価-
- 410 機械加工を併用した大規模高精度異方性エッチング(第 3 報)
- 微小しゅう動機構に作用する表面吸着力(第2報)