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長田 和樹 | ニッコーテクノ株式会社
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関連著者
落合 邦行
千葉工業大学
長田 和樹
ニッコーテクノ株式会社
室 英夫
千葉工業大学
長田 貴裕
千葉工業大学
長田 和樹
ニッコーテクノ(株)
著作論文
SOI-MUMPsプロセスによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータの最適化検討
U字形及びI字形のSOI-MUMPsによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータ
U字形及びI字形のSOI-MUMPsによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータ
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