T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
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概要
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This paper reports an electrical equivalent circuit model for describing in-plane two degree-of-freedom comb transducers. The proposed model is valid for any external parameters by building dummy spring into mis model to detect a mechanical displacement. As a result, we can analyze dc operating points by the model so that we need not to change the parameters of the model on changing the connected electrical and mechanical components, such as a dc bias, external force, and the stiffness of a spring. This model was adapted to a resonator and a frequency characteristic of 2DOF comb transducers was well represented by the model.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
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田畑 修
京都大学
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田畑 修
京都大学 工学研究科
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田畑 修
立命館大学 理工学部 機械工学科
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土屋 智由
京都大学
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土屋 智由
(株)豊田中央研究所
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田畑 修
京都大学大学院 工学研究科
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土屋 智由
豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室
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土屋 智由
京都大学大学院
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土屋 智由
大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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土屋 智由
株式会社豊田中央研究所
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徳崎 裕幸
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
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田畑 修
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
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田畑 修
立命館大学理工学部機械工学科
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菅野 公二
京大院
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土屋 智由
京大院
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田畑 修
京大院
-
徳崎 裕幸
京大院
-
菅野 公二
京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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土屋 智由
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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