静電力チャックを用いた絶縁薄膜の引張試験
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概要
著者
-
坂田 二郎
豊田中央研究所 機能デバイス研究室
-
土屋 智由
(株)豊田中央研究所
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坂田 二郎
(株)豊田中央研究所
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土屋 智由
豊田中央研究所
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土屋 智由
豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室
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土屋 智由
京都大学大学院
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土屋 智由
大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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坂田 二郎
豊田中央研究所 デバイス部
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