MEMS等価回路ジェネレータの開発(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
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概要
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CMOS-MEMS(micro electromechanical system)デバイスの設計効率向上のために「等価回路ジェネレータ」と名づけた設計プラットフォームを開発した.等価回路ジェネレータはMEMSデバイスの等価回路モデル化もとづいている.これにより回路設計技術者は検出回路や駆動回路を含めた回路システム全体での回路シミュレーションを行うことが可能となる.本稿ではMEMSデバイスの機械的,電気的動作特性を表す等価回路導出手法について述べる.本手法では,エネルギー関数を用いて等価回路を導出する.本手法検証のために静電型櫛歯アクチュエータでの共振特性の実測比較を行った.本手法により導出した等価回路で回路シミュレーションを行い得られたアドミタンス特性は実測値とよく一致した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-11-05
著者
-
浅海 和雄
みずほ情報総研
-
土屋 智由
京都大学
-
土屋 智由
(株)豊田中央研究所
-
土屋 智由
豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室
-
土屋 智由
京都大学大学院
-
土屋 智由
大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
土屋 智由
株式会社豊田中央研究所
-
小池 智之
マイクロマシンセンター
-
藤原 信代
みずほ情報総研株式会社
-
小池 智之
財団法人マイクロマシンセンター
-
土屋 智由
京都大学マイクロエンジニアリング専攻
-
橋口 原
静岡大学電子工学研究所
-
藤原 信代
みずほ情報総研
-
浅海 和雄
みずほ情報総研株式会社
-
土屋 智由
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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