微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-11-21
著者
-
辻本 和也
京都大学
-
平井 義和
京都大学
-
田畑 修
京都大学
-
田畑 修
京都大学 工学研究科
-
田畑 修
立命館大学 理工学部 機械工学科
-
菅野 公二
京都大学
-
土屋 智由
京都大学
-
平井 義和
京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
土屋 智由
(株)豊田中央研究所
-
田畑 修
京都大学大学院 工学研究科
-
土屋 智由
豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室
-
土屋 智由
京都大学大学院
-
土屋 智由
大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
土屋 智由
株式会社豊田中央研究所
-
平井 義和
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
-
田畑 修
立命館大学理工学部機械工学科
-
菅野 公二
京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
-
土屋 智由
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
関連論文
- 動きのデザイン : リズム特徴に着目した合成的動作生成
- 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討
- 432 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
- 3308 移動マスクUV露光法によるポジ型厚膜レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
- Fast Marching Method を適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
- 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析 : 移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察
- 2201 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証(要旨講演,マイクロナノ理工学)
- X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発
- 単結晶シリコン振動子の疲労寿命予測
- 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
- CVD法と熱処理で作製した多結晶Si膜の粒界物性評価
- 単結晶シリコンの引張強度評価の Round Robin Test : 試験片作製プロセスの開発
- プラズマCVD SiO_2薄膜の引張試験 : 試験雰囲気が引張強度に与える影響評価
- 静電力チャックを用いた絶縁薄膜の引張試験
- 移動マスクX線露光法を用いた3次元マイクロ加工
- 429 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1119 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 5507 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
- シリコンセンサデバイスの材料技術(マイクロ構造デバイスの現状)
- 移動マスクX線露光法を用いた3次元マイクロ加工
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- 射出成形によるマイクロウエルプレートの開発 : ガラスプレートインサートPDMS射出成形品
- 三次元露光技術の開発ならびに射出成形プレートによる接合検討
- 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路
- 感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャンネルチップの作製 (ダウンサイズ化する分析化学)
- 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- MEMS等価回路ジェネレータの開発(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- MEMS等価回路ジェネレータの開発
- 2121 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル
- 3313 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル(J26-3 マイクロメカトロニクス(3),J26 マイクロメカトロニクス)
- 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
- M2-3 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価(M2 材料評価)
- T0302-1-1 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
- 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
- 2122 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブルとアセンブルプロセスのモデリング(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 研究会活動報告 平成17年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会報告
- ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術
- マイクロシステムと薄膜の機械的物性
- マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析
- ウエアラブル可変剛性要素の開発(機械力学,計測,自動制御)
- 2A1-H5 ウエアラブルな可変拘束要素の開発(70. 人間機械協調I)
- 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA薄膜アクチュエータの設計
- T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- 312 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析
- 3310 低侵襲手術用触覚センサーの構造設計(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
- 2837 高温薄膜引張試験装置の開発(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
- 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討
- 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析
- 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価
- 3rd Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems 報告
- 形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ
- 放射X線によるPTFE直接微細加工特性と乳化フィルターへの応用
- マイクロシステムと放射X線応用3次元微細加工技術
- X線を利用したマイクロ・ナノ加工技術とその応用
- 4th International Workshop on High-Aspect High-Aspect Ratio Micro-Structure Technology
- フライブルク大学 マイクロシステム技術学科(ドイツ)
- MEMS2010報告
- CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画)
- 24・6 MEMS用材料の力学特性評価(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 4th APCOT 2008国際会議報告
- アナリシスとシンセシス
- マイクロ・ナノ材料の試験方法
- チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
- マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製
- 24・3 集積化MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- プロセス技術 : 解説特集の企画にあたって
- T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
- TMAH水溶液によるSi結晶異方性エッチング
- ICP-RIEを用いた成型用微細シリコン型の作製
- X線照射を用いたマイクロキャピラリ用傾斜側壁の加工技術
- X線照射加工を用いたDNA分析用マイクロキャピラリアレイチップ
- MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
- ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
- 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
- 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ
- 薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析
- UV厚膜レジストによる高アスペクト比マイクロストラクチャの製作
- 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
- チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
- 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
- 716 微小構造体の共振疲労試験手法の開発(疲労荷重下の破壊II,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
- 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
- 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験
- SPIE's 1998 Symposium and Continuing Education on Micromachining and Microfabrication 報告
- 非線形振動子群における秩序形成を利用したセンシング : 塩水振動子を用いた実験とシミュレーション
- マイクロマシニング技術の課題と展開
- 北陸に冬の雷を追う〜産官学協同の雷予知と雷害防止研究〜
- (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響
- AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション)