TMAH水溶液によるSi結晶異方性エッチング
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
-
光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討
-
PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
-
ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
-
3308 移動マスクUV露光法によるポジ型厚膜レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
-
Fast Marching Method を適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
-
微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析 : 移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察
-
2201 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証(要旨講演,マイクロナノ理工学)
-
X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発
-
3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
-
移動マスクX線露光法を用いた3次元マイクロ加工
-
429 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
-
1119 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
-
5507 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
-
移動マスクX線露光法を用いた3次元マイクロ加工
-
PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
-
PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
-
射出成形によるマイクロウエルプレートの開発 : ガラスプレートインサートPDMS射出成形品
-
三次元露光技術の開発ならびに射出成形プレートによる接合検討
-
自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路
-
感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャンネルチップの作製 (ダウンサイズ化する分析化学)
-
Ｘ線応用３次元加工用シミュレーションシステムの開発
-
2121 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
-
DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル
-
3313 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル(J26-3 マイクロメカトロニクス(3),J26 マイクロメカトロニクス)
-
混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
-
M2-3 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価(M2 材料評価)
-
混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
-
2122 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブルとアセンブルプロセスのモデリング(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
-
ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術
-
マイクロシステムと薄膜の機械的物性
-
マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析
-
ウエアラブル可変剛性要素の開発(機械力学,計測,自動制御)
-
超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA薄膜アクチュエータの設計
-
T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
-
312 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
-
電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析
-
3310 低侵襲手術用触覚センサーの構造設計(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
-
2837 高温薄膜引張試験装置の開発(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
-
電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
-
京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 ナノ・マイクロシステム工学研究室
-
薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討
-
電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析
-
粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価
-
3rd Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems 報告
-
形状記憶合金薄膜を用いた触覚提示用垂直駆動型アクチュエータ
-
放射X線によるPTFE直接微細加工特性と乳化フィルターへの応用
-
マイクロシステムと放射X線応用3次元微細加工技術
-
X線を利用したマイクロ・ナノ加工技術とその応用
-
4th International Workshop on High-Aspect High-Aspect Ratio Micro-Structure Technology
-
フライブルク大学 マイクロシステム技術学科(ドイツ)
-
DNA解析用マイクロチップの開発とマイクロチャンネル中でのDNAの単一分子ダイナミクス
-
アナリシスとシンセシス
-
X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process
-
マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製
-
Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film (特集:特殊イメ-ジング技術)
-
T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
-
T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
-
TMAH水溶液によるSi結晶異方性エッチング
-
ICP-RIEを用いた成型用微細シリコン型の作製
-
X線照射を用いたマイクロキャピラリ用傾斜側壁の加工技術
-
X線照射加工を用いたDNA分析用マイクロキャピラリアレイチップ
-
MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
-
MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
-
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
-
ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
-
高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
-
形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ
-
LIGAプロセスによるキャピラリーアレイ電気泳動のマイクロチップ化とマイクロチャンネル中を泳動するDNAの単一分子挙動解析
-
薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析
-
UV厚膜レジストによる高アスペクト比マイクロストラクチャの製作
-
微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
-
チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
-
誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
-
高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
-
金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
-
多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験
-
マイクロチップ電気泳動用レーザー誘起蛍光検出システムの開発とマイクロチャンネル中の単一DNA分子解析
-
SPIE's 1998 Symposium and Continuing Education on Micromachining and Microfabrication 報告
-
非線形振動子群における秩序形成を利用したセンシング : 塩水振動子を用いた実験とシミュレーション
-
マイクロマシニング技術の課題と展開
-
北陸に冬の雷を追う〜産官学協同の雷予知と雷害防止研究〜
-
AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション)
-
J161021 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性([J16102]マイクロナノメカト口ニクス(2))
もっと見る
閉じる
スポンサーリンク