Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film (特集:特殊イメ-ジング技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A 16×16 monolithic pyroelectric infrared image sensor has been developed. The image sensor utilizes an electro-spray (ESP) deposited polyvinylidene fluoride (PVDF) thin film as a pyroelectric material, a buried channel MOSFET as a low noise detection device, and a micromachined four-beams supported membrane as a thermal isolation structure. A voltage sensitivity of 6600V/W and a detectivlty of 1.6×107cmHz1/2W-1 have been realized with a sensing area of 75×75μm2.
- 社団法人 電気学会の論文
- 1997-12-01
著者
-
田畑 修
立命館大学理工学部機械工学科
-
TAGA Yasunori
TOYOTA Central R&D Laboratories, Inc.
-
Taga Y
Toyota Central R & D Laboratories Inc.
-
Taga Yasunori
Toyota Central R & D Laboratories Inc.
-
Mizuno K
Toyota Central R&d Lab. Inc.
-
Mizuno Kentaro
Toyota Central R & D Labs. Inc.
-
TABATA Osamu
Ritsumeikan University
-
FUJITSUKA Norio
Toyota Central R&D Labs.,Inc.
-
SAKATA Jiro
Toyota Central R&D Labs.,Inc.
-
MIYACHI Yukio
Toyota Central R&D Labs.,Inc.
-
OHTSUKA Kazuo
Toyota Central R&D Labs.,Inc.
-
Sakata J
Toyota Central R&d Lab. Inc.
-
Sakata Jiro
Toyota Central R & D Labs. Inc.
-
Ohtsuka Kazuo
Toyota Central R&d Labs. Inc.
-
Miyachi Yukio
Toyota Central R&d Labs. Inc.
-
Fujitsuka Norio
Toyota Central R&d Labs. Inc.
関連論文
- 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
- 3308 移動マスクUV露光法によるポジ型厚膜レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
- Fast Marching Method を適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
- 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析 : 移動X線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察
- 2201 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証(要旨講演,マイクロナノ理工学)
- X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発
- 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
- 移動マスクX線露光法を用いた3次元マイクロ加工
- 429 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1119 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 5507 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)
- 移動マスクX線露光法を用いた3次元マイクロ加工
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- PVDF薄膜を用いたモノリシック焦電型赤外線イメージセンサ
- 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路
- 感光性エポキシ樹脂をエッチングマスクとして用いる電気泳動マイクロチャンネルチップの作製 (ダウンサイズ化する分析化学)
- 2121 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル
- 3313 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル(J26-3 マイクロメカトロニクス(3),J26 マイクロメカトロニクス)
- 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
- M2-3 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価(M2 材料評価)
- 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
- Direct Formation of Arrays of Prolate Ag Nanoparticles by Dynamic Oblique Deposition
- 2122 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブルとアセンブルプロセスのモデリング(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- ナノ粒子分散ポリマーを用いたレーザー微細加工技術
- マイクロシステムと薄膜の機械的物性
- マイクロチップ化キャピラリー電気泳動によるDNA分離過程の画像解析
- 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA薄膜アクチュエータの設計
- T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- 312 バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路(T02-1 マイクロナノメカトロニクス(1),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析
- 3310 低侵襲手術用触覚センサーの構造設計(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)
- 2837 高温薄膜引張試験装置の開発(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
- 京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 ナノ・マイクロシステム工学研究室
- 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討
- 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析
- 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価
- マイクロシステムと放射X線応用3次元微細加工技術
- X線を利用したマイクロ・ナノ加工技術とその応用
- 4th International Workshop on High-Aspect High-Aspect Ratio Micro-Structure Technology
- フライブルク大学 マイクロシステム技術学科(ドイツ)
- DNA解析用マイクロチップの開発とマイクロチャンネル中でのDNAの単一分子ダイナミクス
- Photocatalytic Degradation of Formaldehyde and Toluene Mixtures in Air with a Nitrogen-doped TiO_2 Photocatalyst
- Band-Gap Narrowing of Titanium Dioxide by Nitrogen Doping : Optical Properties of Condensed Matter
- X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process
- Photoemission Spectroscopy of the Interface between Indium-Tin-Oxide and Copper Phthalocyanine for Transparent Organic Light-Emitting Devices(Optics and Quantum Electronics)
- Chemical Structure of Aluminum/8-Hydroxyquinoline Aluminum Interface
- Magnetic Properties of Granular Fe-Cr-O and Fe-X-Cr-O (X=Cu, Rh) Films
- Soft Magnetic Properties of Co-Cr-O Granular Films
- Improvement of Soft Magnetic Properties of Co-Cr-O Film by Additional X(= Rh, Ir, Ag, or Au)
- Interfacial Stability Between Ta-Sn-O Films and Indium Tin Oxide Electrodes
- Effect of Residual Water on Giant Magnetoresistance in Co/Cu Superlattices
- Selectivity Control of Mask Material for XeF_2 Etching Using UV light Exposure
- Anomalous Etching Phenomenon of RF-Sputtered SiO_2 Films
- Monolithic Pyroelectric Infrared Image Sensor Using PVDF Thin Film (特集:特殊イメ-ジング技術)
- Utilization of an Aromatic [4.4.4]Propellane as Thermally Stable Hole-Transport Materials in OLEDs
- Spirocycle-Incorporated Triphenylamine Derivatives as an Advanced Organic Electroluminescent Material
- Secondary Ion Emission from Si Subjected to Oxygen Ion Bombardment
- Application of N, N, N', N'-Tetrasubstituted 1, 3-Bis(4-aminophenyl)azulenes to Hole-injecting Materials for Durable Organic EL Devices without Color Fade
- Time-of-Flight Scattering and Recoiling Spectrometry Study of Plasma-Cleaned Silicon Surface ( Plasma Processing)
- Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films Using Electrostatic Force Grip
- UV Photoemission Study of AlGaN Grown by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
- Micor Fluxgate Magnetic Sensor Interface Circuits Using △Σ Modulation
- A thermal micro pressure sensor: its characteristics and application to pressure measurement in a minute package
- Integrated Sculptured Thin Films : Surfaces, Interfaces, and Films
- T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
- TMAH水溶液によるSi結晶異方性エッチング
- Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata
- X線照射を用いたマイクロキャピラリ用傾斜側壁の加工技術
- X線照射加工を用いたDNA分析用マイクロキャピラリアレイチップ
- Effect of Potassium Ion on Anisotropy of TMAH (特集:立体的微細加工)
- Morphological Stability of TiO_2 Thin Films With Isolated Columns : Surfaces, Interfaces, and Films
- Preferred Orientation in Ti Films Sputter-Deposited om Si0_2 Glass:The Role of Water Chemisorption on the Substrate
- MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
- 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
- Pyroelectric Property of Pb_5Ge_3O_ Thin Films Prepared by Laser Ablation
- 形状剛性変化型の2軸同時検知振動式加速度センサ
- LIGAプロセスによるキャピラリーアレイ電気泳動のマイクロチップ化とマイクロチャンネル中を泳動するDNAの単一分子挙動解析
- 形状剛性変化型の振動式加速度センサ
- 3-Dimensional Microstructure Fabrication using Multiple Moving Mask Deep X-ray Lithography Process (特集:立体的微細加工)
- 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
- チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
- 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
- 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
- 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
- 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験
- マイクロチップ電気泳動用レーザー誘起蛍光検出システムの開発とマイクロチャンネル中の単一DNA分子解析
- SPIE's 1998 Symposium and Continuing Education on Micromachining and Microfabrication 報告
- 非線形振動子群における秩序形成を利用したセンシング : 塩水振動子を用いた実験とシミュレーション
- マイクロマシニング技術の課題と展開
- 北陸に冬の雷を追う〜産官学協同の雷予知と雷害防止研究〜
- Direct Formation of Arrays of Prolate Ag Nanoparticles by Dynamic Oblique Deposition
- AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション)
- J161021 エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性([J16102]マイクロナノメカト口ニクス(2))