X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process
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概要
著者
-
SUGIYAMA Susumu
Ritsumeikan University
-
田畑 修
立命館大学理工学部機械工学科
-
UENO Hiroshi
Ritsumekikan University
-
KONISHI Satoshi
Ritsumeikan University
-
HOSAKA Makoto
Ritsumeikan University
-
TABATA Osamu
Ritsumeikan University
-
Ueno Hiroshi
Ritsumeikan University
-
Sugiyama Susumu
Ritsumeikan Global Innovation Research Organization, Ritsumeikan University, Kusatsu, Shiga 525-8577, Japan
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