薄膜ダイヤフラムを有するマイクロ圧力センサの感度解析
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概要
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A theoretical expression to calculate the strain on a circular diaphragm fixed at the circumference and the center has been derived to predict the sensitivity of a micro-diaphragm pressure sensor. Youngs modulus and internal stress of several thin films used for the diaphragm of the sensor and their layered structures were measured. Using the measured data, it was confirmed that Youngs modulus and internal stress for layered thin film structure can be calculated by a composite law. Two sensors were fabricated to verify the validity of the derived equations, and their sensitivity was measured and calculated. The measured and calculated sensitivities showed good agreement.
- 社団法人 電気学会の論文
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