多結晶Si膜の粒界キャラクタリゼーション (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)

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概要

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• 豊田中央研究所の論文

著者

• 土屋 智由

  (株)豊田中央研究所

• 井上 敦子

  (株)豊田中央研究所

• 中野 由崇

  (株)豊田中央研究所

• 土屋 智由

  京都大学大学院

• 土屋 智由

  大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

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