脇田 拓 | 京都大学
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概要
関連著者
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田畑 修
京都大学
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田畑 修
京都大学 工学研究科
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田畑 修
立命館大学 理工学部 機械工学科
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土屋 智由
京都大学
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土屋 智由
(株)豊田中央研究所
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池原 毅
産総研
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田畑 修
京都大学大学院 工学研究科
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土屋 智由
豊田中央研究所 半導体デバイス・センサ研究室
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土屋 智由
京都大学大学院
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土屋 智由
大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
著作論文
- M2-3 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価(M2 材料評価)
- T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
- MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)