MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション
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概要
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- 2013-08-01
著者
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田畑 修
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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菅野 公二
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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上杉 晃生
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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柳生 裕聖
関東学院大学理工学部理工学科
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牧野 圭秀
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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平井 義和
京都大学工学研究科
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土屋 智由
京都大学工学研究科
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菅野 公二
京都大学工学研究科
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