自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路
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概要
著者
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徳崎 裕幸
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
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平井 義和
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
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菅野 公二
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
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土屋 智由
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
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田畑 修
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室
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