リング状溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成とその空間分布の均一化
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概要
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- 2009-08-09
著者
-
浦崎 浩史
佐賀大学
-
堀田 智宏
佐賀大学
-
大津 康徳
佐賀大学
-
Fujita Hisanori
Institute Of Laser Engineering Osaka University
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
三沢 達也
佐賀大学
-
Fujita Hideki
Institute Of Plasma Physics Nagoya University
-
Fujita H
Jfcc
-
Fujita Hideki
Electric Power Research & Development Center Chubu Electric Power Co. Inc.
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
Fujita H
Limms/cnrs-iis The University Of Tokyo Crest/jst
-
Fujita Hiroyuki
Inst. Of Industrial Sci. The Univ. Of Tokyo
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学理工
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