容量結合型高周波プラズマ中の電子エネルギー分布関数と イオン衝撃2次電子の観測

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概要

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• 電気学会の論文
• 1999-06-01

著者

• 大津 康徳

  佐賀大学

• 藤田 寛治

  佐賀大学

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