27pA31P 狭ギャップ容量結合型高周波放電における電極間距離・圧力の影響(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
大津 康徳
佐賀大学
-
藤田 寛治
佐賀大理工
-
大津 康徳
佐賀大理工
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
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