誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成
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概要
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- 2003-08-05
著者
-
藤田 寛治
佐賀大学理工学部
-
大津 康徳
佐賀大学理工学部
-
三沢 達也
佐賀大学理工学部
-
行村 建
同志社大学
-
大津 康徳
佐賀大学
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
三沢 達也
佐賀大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
江上 正人
佐賀大学
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
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