27aA03 誘導結合型プラズマ生成に及ぼすアンテナ形状の影響(プラズマ基礎・応用)

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概要

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• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2000-11-20

著者

• 藤田 寛治

  佐賀大学理工学部

• 藤田 寛治

  佐賀大理工

• Nasser M.

  佐賀大学理工学部

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