25pH-1 バイアス基板に入射するイオンエネルギー分布に及ぼす印加周波数の影響

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2000-03-10

著者

• 藤田 寛治

  佐賀大学理工学部

• 藤田 寛治

  佐賀大理工

• 大滝 康徳

  佐賀大学理工学部

• 吉永 邦宏

  佐賀大学理工学部

• 藤田 寛治

  佐賀大学理工

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