20pA11P MgO電極を用いた狭ギャップ容量結合型放電の高密度化(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2002-11-20
著者
-
藤田 寛治
佐賀大学理工学部
-
大津 康徳
佐賀大学理工学部
-
三沢 達也
佐賀大学理工学部
-
大津 康徳
佐賀大学
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
三沢 達也
佐賀大学
-
島添 稔博
佐賀大理工
-
島添 稔博
佐賀大学理工学部
-
持永 修一
佐賀大学理工学部
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学理工
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